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半导体高端装备的核心—电子级EP管
发布时间:2022-10-18        浏览次数:6        返回列表
电子级EP(Electropolishing)管定义为:经电化学抛光,使表层实际面积得到最大程度的减少,表面具有细密富氧化铬氧化膜的不锈钢管,主要应用在电子级的特气传输,在半导体高端装备的气体系统中可使用在HP高纯气体与UHP超高纯气体的管道。